thin film coating plant

The diffraction-limited cutting on the gold films and silver films is obtained.

本论文从实验上对飞秒激光在材料微加工中的应用进行了较深入的研究,研究了激光参数与加工速度和加工精度之间的关系,分别在镀金薄膜和镀银薄模上进行了刻线和打孔研究,获得了接近衍射极限的加工尺度,并开展了在透明材料上制备光栅的研究以及烈性材料代用品的加工实验研究。

The diffraction-limited cutting on the gold films and silver films is obtained.

1×10~(12)W/cm~2时,在镀金以及镀银薄膜获得的加工尺度接近衍射极限。

The diffraction-limited cutting on the gold and silver films is obtained,respectively,A4×4 array holes with the diameter of 3 μm are drilled in the GaAs materials.

采用波长800 nm,脉冲宽度150 fs,脉冲重复率1 kHz 的飞秒激光,研究了在不同物质以及不同加工条件下的微加工特性,在镀金薄膜和镀银薄膜上获得了近衍射极限的刻线加工尺度,在半导体 GaAs 材料上制备了直径 3μm 的4×4点阵。