The preventive maintenance optimal scheduling for cluster tools are main equipments in the modern wafer fabrication facility is studied.
研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。
本站部份资料来自网络或由网友提供,如有问题请速与我们联系,我们将立即处理!
版权所有©四级英语单词 网站地图 陇ICP备2023000160号-4
免责声明:本站非营利性站点,以方便网友为主,仅供学习。